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联讯仪器S3030F是结构紧凑、经济高效的单通道高电压、高功率电源/测量单元，能够同时输出和测量电压和电流， 能够提供*大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率输出，能广泛地应用在功率半导体特性，GaN、SiC表征，复合材料，高压漏电流等测试和研究领域。S3030F支持传统的SMU SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷， 可支持多机同步，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。
S3030F高压型高精度源表SMU电压源指标：
| 电压设置精度 | 量程 | 设置分辨率 | 精度(1年) ±(%读数+ 偏置) | 典型噪声(有效值) 0.1 Hz-10Hz |
| ±3500 V | 40 mV | 0.02%+600 mV | 50 mV | |
| ±2500 V | 30 mV | 0.02%+450 mV | 40 mV | |
| ±1500 V | 20 mV | 0.02%+300 mV | 25 mV | |
| ±600 V | 7mV | 0.02%+120 mV | 10 mV | |
| ±200 V | 3mV | 0.02%+40 mV | 3 mV | |
| 温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
| 设置时间 | <5 mS (典型值) | |||
| 过冲 | <±1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试) | |||
| 噪声10Hz-20MHz | 1500V电压源，120 mA电阻负载，<200mV RMS | |||
S3030F高压型高精度源表SMU电流源指标：
| 电流设置精度 | 量程 | 设置分辨率 | 精度(1年) ±(% 读数+偏置) | 典型噪声(有效值)0.1Hz-10Hz |
| ±120 mA1 | 3 uA | 0.02% + 35 μA | 120 uA | |
| ±20 mA | 400 nA | 0.02% + 15 μA | 20 uA | |
| ±10 mA | 200 nA | 0.02% + 3 uA | 10 uA | |
| ±1 mA | 20 nA | 0.02% + 300 nA | 1 uA | |
| ±100 μA | 2 nA | 0.02% + 30 nA | 100 nA | |
| ±10 μA | 200 pA | 0.03% + 5 nA | 10 nA | |
| ±1 μA | 20 pA | 0.03% + 1 nA | 1 nA | |
| ±100 nA | 2 pA | 0.2% +100 pA+Vo x 100 fA | 100 pA | |
| ±10 nA | 200 fA | 0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA | 10 pA | |
| ±1 nA | 20 fA | 0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA | 1 pA | |
| 温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
| 设置时间 | <10 ms (典型值) | |||
| 过冲 | <±1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试) | |||
1，120mA量程仅支持1500V及以下电压量程
S3030F高压型高精度源表SMU电压表指标：
| 电压测量精度 | 量程 | 显示分辨率 | 精度(1年)±(%读数+偏置) |
| ±3500 V | 1 mV | 0.02%+600 mV | |
| ±2500 V | 1mV | 0.02%+450 mV | |
| ±1500 V | 1 mV | 0.02%+300 mV | |
| ±600 V | 100 uV | 0.02%+120 mV | |
| ±200 V | 100 uV | 0.02%+40 mV | |
| 温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
S3030F高压型高精度源表SMU电流表指标：
| 电流测量精度 | 量程 | 显示分辨率 | 精度(1年) ±(% 读数+偏置) |
| ±120 mA1 | 100 nA | 0.02% + 35 μA | |
| ±20 mA | 10 nA | 0.02% + 15 μA | |
| ±10 mA | 10 nA | 0.02% + 3 uA | |
| ±1 mA | 1 nA | 0.02% + 300 nA | |
| ±100 μA | 100 pA | 0.02% + 30 nA | |
| ±10 μA | 10 pA | 0.03% + 5 nA | |
| ±1 μA | 1 pA | 0.03% + 1 nA | |
| ±100 nA | 100 fA | 0.2% +100 pA+Vo x 100 fA | |
| ±10 nA | 10 fA | 0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA | |
| ±1 nA | 1 fA | 0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA | |
| 温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
1，120mA量程仅支持1500V及以下电压量程
S3030F高压型高精度源表SMU电阻表指标(4线)
| 电阻测量精度 | 量程 | 显示分辨率 | 默认测量电流 | 典型精度(1年) ±(%读数+偏置) |
| 100 Ω | 100 μΩ | 100 mA | 0.075% + 400 mΩ | |
| 1 kΩ | 1 mΩ | 10 mA | 0.07% + 4 Ω | |
| 10 kΩ | 10 mΩ | 1 mA | 0.07% + 40 Ω | |
| 100 kΩ | 100 mΩ | 100 μA | 0.07% + 400 Ω | |
| 1 MΩ | 1 Ω | 10 μA | 0.10% + 4 kΩ | |
| 10 MΩ | 10 Ω | 1 μA | 0.15% + 40 kΩ | |
| 100 MΩ | 100 Ω | 100 nA | 0.32% + 400 kΩ | |
| 1 GΩ | 1 KΩ | 10 nA | 0.32% + 4 MΩ | |
| 10 GΩ | 10 KΩ | 1 nA | 0.72% + 40 MΩ | |
| 温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/℃ (0℃-18℃，28℃-50℃) | |||
| 手动电流源电阻测量 (四线) | 总体误差=测量电压/电流源设定电流=电阻读数x(电压源量程的增益误差百分比+电流表量程的增益误差百分比+电流源量程偏置误差/设定电流)+(电压源量程偏置误差/设定电流值) 示例：电流源设定电流=10mA 电压测量量程=200V 总体误差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA) ≈0.07%+4Ω | |||
注：测量电压=默认测量电流*被测电阻值≤10.5V
