高档型半导体检测 TBM-800详细技术参数
一、仪器用途
TBM-800 半导体检测仪是检测双极型晶体管的基区宽度，半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等，刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑的仪器。配备大视野目镜与偏光观察装置，透反射照明采用“柯勒”照明系统，视场清晰。可用于半导体硅晶片、LCD基板、电路板、固体粉未及其它各种透明或不透明工业试样的检验，是生物学、金属学、矿物学、精密工程学、电子工程学等研究的理想仪器,广泛应用在工厂、实验室和教学及科研等领域。
二、产品特点
配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片)，视场大而清晰。配置大移动范围的载物台，能快速和慢速移动。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带锁紧和限位装置，微动格值:2μm。6V 20W卤素灯,亮度可调。三目镜筒,可自由切换正常观察与偏光观察，可进行99%透光摄影。不仅可以在目镜上作显微观察，还能在计算机显示屏幕上观察实时动态图像，并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。
三、技术参数
1.目镜
2.物镜
| 类别 | 放大倍数 | 孔径数值 | 工作距离(mm) |
| 长距平场消色差物镜 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 |
| 20X | 0.40 | 7.2 |
| 40X | 0.60 | 3.0 |
| 80x | 0.80 | 1.2 |
3.光学放大倍数：50X 100X 200X 400X 800x
4.三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)
5.五孔转换器 (外向式滚珠内定位)
6.载物台:三层机械移动式，尺寸: 250mmX230mm,移动范围: 154mmX154mm
7.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
8.照明系统：6V 20W卤素灯,亮度可调；带视场光栏、孔径光栏,起偏振片,,
9.滤色片组：(黄,蓝,绿,磨砂)
10.防霉系统
四、系统组成
(TBM-800):1.显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.A/D(图像采集)
五、总放大参考倍数
TBM-800型:503500倍
六、选购件
1.目镜:16X 10X分划 2.物镜:50X 60X 100X 3.二维测量软件
