用途:白光干涉仪是一种新型的表面形貌测量设备，主要用于获得材料表面的粗糙度、波纹度、翘曲度、自相关函数、承载曲线、轮廓线提取等三维特征参数。以及对材料表面形貌的三维测量，包括:水平尺寸、高度、面积、体积、缺陷深度、曲率半径、倾斜角、栅线分析等。

型号:ContourX-100、ContourX-200、ContourX-500、Contour GT等

基本参数:

●垂直测量范围:0.1 nm 至 10 mm

●垂直分辨率:<0.1 nm

●水平分辨率:0.5 um

●XY样品台尺寸:150 mm (6in.)

●样品台移动范围:150 mm (XY轴)/100 mm(Z轴)

●物镜:2.5X、5X、10X、20X、50x、115x

技术优势:

●设计LED双光源设计(白光、绿光)

●PSI、VSI、USI测试模式，满足绝大部分样品测试需求

●的图像拼接功能

●多种缝合模式

●一格的镜头调整水平设计

●TTM镜头:直接透过透明介质测量介质下面的产品形貌