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简要概述：
ST-21型方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。
性能特点：
Ø 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗；
Ø 以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；
Ø 采用单个电池供电，带电池欠压指示；
Ø 体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
Ø 特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜 
Ø 探头带抗静电模块
技术指标：
| 测量范围 | 按方块电阻量值大小分为二个量程档： 1. 方块电阻 1.00～199.99Ω/□； 2. 方块电阻 10.0～1999.9Ω/□； |
| 恒流源 | 测量过程误差：≤±0.8% |
| 模数转换器 | 量程：0～199.99mv； 分辨率：10μv； 方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示； |
| 测量不确定度 | 在整个量程范围内，测量不确定度≤5% |
| 四探针探头规格 | 间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ |
| 电源 | 9V叠层电池1节 |
ST-21方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格：
| 型号 | 曲率半径 | 压力 | 探针间距 | 探针排列 |
| HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直线 |
| HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直线 |
| HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直线 |
| HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直线 |
ST-21方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格：
| 型号 | 曲率半径 | 压力 | 探针间距 | 探针排列 |
| SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
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