二、产品特点：

MF5706热式气体质量流量计灵敏度高，有极小的始动流量；传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量；在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高；各种连接方式，易于安装与使用；输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列流量计适用于各类清洁、干燥气体。*的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对流量计的灵活配置与参数查询。
MF5706热式气体质量流量计原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。MF5706热式气体质量流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。

三、技术参数：