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| 型号（Model） | ZS-1200L | ZS-1500L | ZS-1800L | ZS-2000L | |
| 测量范围（mm） | X | 1000 | 1200 | 1500 | 1800 |
| Y | 1200 | 1500 | 1800 | 2000 | |
| Z | 200 | ||||
| 技术指标Technical Features | |||||
| 影像摄取系统 | SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera | ||||
| 分辨率 | 0.1um | ||||
| 重复精度 | X/Y/Z=2.5um | ||||
| 测量精度 | U1 x / y = （4.0+L/250）um | ||||
| U1 z = （4.0+L/250）um | |||||
| U2 x / y = （6.0+L/250）um | |||||
| 光源照明系统 | 同轴光（黄色LED） 轮廓光（黄色LED） 环光（黄色7向14位） | ||||
| 雷射激光系统 | Keyence LKG30 光点理论直径：30um 工作范围：+-4.5um 参照距离：30mm 光波长度：650nm | ||||
| CCD两种对焦模式 | 快速对焦（约1.5秒）& 高精度对焦 | ||||
| 雷射对焦 | 单点对焦/扫描对焦 | ||||
| 缩放倍率 | 1X物镜 | 25X 50X 100X （分辨率：1280X1024 17"） | |||
| 2X物镜 | 50X 100X 200X （分辨率：1280X1024 17"） | ||||
| 焦距/工作范围 | 1X物镜 | 92mm/80~93mm | |||
| 2X物镜 | 36mm/34~37mm | ||||
| 机器特征Machine Features | |||||
| 机器型式 | 花岗岩床台固定桥式 | ||||
| 机器重量（净重/毛重） | 3800kg/4000kg | 4150kg/4400kg | 4500kg/4800kg | 4850kg/5200kg | |
| zui大载荷 | 40kg | ||||
| zui高运行速度 | X、Y=350mm/s | Z=200mm/s | |||
| zui高加速度 | 1000mm/s2 | ||||
| 系统特征System Features | |||||
| 控制系统 | 全自动CNC控制系统 | ||||
| 驱动系统 | 四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组 | ||||
| 软件配置 | 标准 | Smart Inspector Pro3.0 | |||
| 选配 | 制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等 | ||||
| 操作系统 | Windows 7 | ||||
| 外部工作环境Operating Environment | |||||
| 电源 | 220V 50～60HZ >10A | ||||
| 功率 | 2.0KW | ||||
| 温度范围 | 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m | ||||
| 湿度范围 | 40%~70% | ||||
| 电脑配置 | 可选（实际出货以报价单为准） | ||||
