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Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从 10Torr 到1000Torr。测量单位可以是 Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作电压是 15VDC,输出 0~10VDC或 0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。
电气连接件可以是工业标准 15 针 D 型插座或 6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和 ESD 抑制元件以及输入输出的 RFI 过滤等技术,Model 760 具有出众的 EMI/RFI 性能。 Model 760 有一个完整的滑面,很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel? 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压力和真空接头。
Model 760 中高精度的压力传感元件 VactronTM pressure sensor,是在 Setra 技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被 Setra的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号,该集成电路是根据西特技术负荷平衡原理设计的。
Model 760 采用革新的传感设计获得了出色的零点稳定性和大气压非敏感性。Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。
■ 出众的 EMI/RFI 性能
■ 耐腐蚀的 Inconel 设计
■ 出色的热稳定性
特性
· 高精度:标准 ±0.25% of Reading ,可选 ±0.15%
· 小巧紧凑的结构
· 多种压力连接和电气连接方式
· 符合 CE 标准
应用
· 半导体过程工具和设备 · 实验室和研究开发 · 实验和测量 · 度量 · 分析化学系统
注:Setra 坚持严格的质量标准 ANSI-Z540-1。此产品的标定源于 NIST。