1.激光法

　　利用一束脉冲激光穿过构件上的氧化膜钻出一个直径为亚毫米级的小孔洞直通到金属基体上。根据小孔洞底部反射能力的增加来确定氧化膜是否贯穿，并利用第二束低功率的激光进行测量。通过对已经贯穿的脉冲数量进行计数而确定膜的厚度，仪器需根据已知厚度的膜来校正。

　　zui初这种技术作为一种实验室工具而开发的，后来又进一步发展成用来检测工业设备腐蚀的工业仪器。在其它许多环境中，利用这种原理监测其它膜的生长也是可能的，其中包括传统的锅炉装置，这时形成的膜是四氧化三铁。

　　2.涡流测厚仪测厚

　　利用进口膜厚仪上的探头放在氧化过的表面上，膜的厚度可直接在刻度盘上读出。测量范围用0~50μm比较方便。

　　3.电压击穿法

　　用专门的电压击穿器测出氧化膜的击穿电压值，在刻度盘上可直接读出氧化膜的厚度，或者对照表中查出。

　　4.显微镜法

　　将经过氧化的零件，切取一试片用金相试片的方法处理后，放在显微镜下，观察氧化膜的厚度。

　　4.重量法

　　一个去掉氧化膜一个不去，用百万分之一的天平称重对比。