半导体特气检漏仪（自动吸引式）

XP-703D半导体特气检漏仪（自动吸引式）

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2018-05-14 09:00:00
473
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产品简介

特点：
于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。

详细介绍

规格

型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度
（单位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内
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