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面议 测量原则 | 探针法 |
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输入 | BFW 无导块系统 |
测量范围 mm | +/- 250 µm(高达 +/- 750 µm,3x 测杆长度) |
轮廓分辨率 | 测量范围 +/- 250 µm:8 nm 测量范围 +/- 25 µm:0.8 nm |
过滤器符合 ISO/JIS 标准 | ISO 11562 标准高斯滤波 ISO 13565 标准滤波 |
采样长度数量符合 ISO/JIS | 1-5 |
接触速度 | 0,2 mm/s; 1,0 mm/s |
探针 | 2 µm |
测量力 (N) | 0.75 mN |
重量驱动单元 | 约 0.9 kg |
重量测量仪 | 约 1.0 kg |
表面参数 | 超过 50 种符合当前 ISO / JIS 或 MOTIF (ISO 12085) 标准的表面参数可用于 R-、P- 和 W 轮廓 |