质量流量计，即MassFlowMeter（缩写为MFM）,是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

    质量流量控制器,即MassFlowController（缩写为MFC）,不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。