随着半导体、生物化学等领域对工艺纯度的要求不断提升，精密流体系统中的连接件正承担着越来越重要的角色。沅亨（JPE）推出VMS金属垫片面密封接头系列，为高纯度气体和流体输送提供高等级密封解决方案。

金属对金属密封，高等级泄漏控制

VMS全称为Vacuum Metal Seal，工作原理是通过内外螺纹螺母的接合，使金属垫片在两边的凸缘压紧下产生变形，从而实现金属对金属的硬密封。在JPE厂内氦气泄漏测试中，使用无镀银垫片时最大泄漏率达到4.1×10⁻¹¹ mbar·l/s，镀银垫片测试结果为4.1×10⁻⁹ mbar·l/s，可覆盖从真空负压至正压范围内的无泄漏服务需求。

精密表面处理，高纯应用适配

VMS接头的接管及本体均经过精密表面处理，标准抛光等级达到Ra 0.25μm。较低的表面粗糙度可减少颗粒和杂质的附着，有利于高纯系统的吹扫与维护。

双测试端口设计，便捷泄漏检测

VMS自带两个测试端口，用户无需拆卸系统即可直接进行泄漏测试，有助于简化设备的安装验收与定期维护流程。

全程可追溯，质量管控有保障

每个VMS接头均标记了制造商、材料牌号及制程可追溯号码。从原材料到制造工序，产品质量具备完整的可追溯性，为半导体等行业的质量管控提供支持。

内螺纹镀银处理，提升安装可靠性

螺母内螺纹采用镀银工艺，有效降低装配时的摩擦系数，减少螺纹卡咬和磨损风险。这一设计特别适用于需要反复拆装维护的高纯系统。

材料纯净可靠

VMS采用纯净316L不锈钢材质，可服务半导体、生物化学等高纯度应用领域，适用于惰性气体、特殊气体及高纯化学品输送等场景。

JPE研发团队持续专注于产品类别的扩大和高精度产品质量的提升。VMS系列的推出，标志着JPE在面向半导体、生物医药等高纯应用领域的流体连接解决方案上迈出了重要一步。

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