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大口径立式高温炉 BTF-1200C-VI-VT-530 机房光纤设备
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1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)型号:BTF-1200C-II-CVD
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双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
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纳米线生长专用设备
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流化床—粉体碳纳米管生长设备
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连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
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回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
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分体式升华设备将热场置于手套箱(简易款) 超真空手套箱
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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(试验级)
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实验级升华仪BOF-7-100(新款)
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实验级升华仪BOF-5-50
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| 温度 | 1100℃ |
| 持续工作温度 | ≤1000℃ |
| 升温速率 | ≤10℃/min |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 热电偶 | K型 |
| 控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能,人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪和软件实现双控 |
| 加热总功率 | ≤20KW |
| 加热区尺寸 | 300+300mm |
| 设备主体尺寸(长*宽*高) | 1900*1300*1600(2100)mm |
| 设备重量 | 约750KG |