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Granville-Phillips系列354型(GP系列354微型真空计)
Micro-lon真空计模块真空测量解决方案
模块化真空计是不需要前面板显示和控制的应用理想解决方案。小巧、方便、可靠、节约成本的模块,直接在真空规管上安装电子器件来实现。全金属外壳提供一个坚固的防护和高水平的抗电气噪声的能力。GP 354微型真空计测量范围从5X10-2到10-9Torr(10-9mbar, 10-7Pa),提供模拟输出或RS-485数字接口。模拟量输出型具有数字显示选项,可提供方便的使用终端的压力读数。
Micro-lon( GP 354微型真空计)测量技术:
Granville-Phillips Micro-lon(GP 354微型真空计)真空规是世界上zui小的电离真空规,其压力测量原理基于带电电子与真空规管中的气体分子碰撞所产生的离子电流的量。经过多次改进,在小体积内取得了高性能,改进包括获得的双离子收集及设计,可以优化电子运动和离子收集。双灯丝设计zui大限度地减少了计划外停机。有第二根灯丝备用,规管可工作到定期维护时再更换。超清洁结构(所用组件的真空烧制在洁净度100级的洁净室环境中组装)确保在真空室抽气的过程中快速可重复的响应。
GP 354微型真空计特性与优点:
测量范围宽:允许在从5X10-2至10-9Torr(7X10-2至10-9mbar;7至10-7Pa)的范围内连续监控真空系统的性能。
双灯丝:双灯丝材质是耐烧的氧化钇涂铱,寿命长且有二根灯丝,可以使规管工作到定期维护时再更换,避免不必要的停机。
超清洁结构:真空计在设计、建造和处理上都尽可能减少放气,所有组件均在洁净度100级的洁净室环境中组装,可以确保在真空室抽气中快速、可重复的响应。
工作温度更低:仅为玻璃规或裸规功耗的8%,产生热量更少,降低对工艺实验的干扰。
模拟量输出机型:基础型可提供易于使用的模拟量输出信号,该信号与压力对数呈线性关系。可选的绿色大型LED显示器可提供使用终端的压力指示。
数字接口型:提供有RS-485接口,便于与计算机控制的处理兼容。数字接口型具有一个设定点继电器,通过该继电器可以控制其他真空设备或提供安全互锁。
全金属外壳:提供高水平的抗射频噪声能力,符合CE认证。
可更换规管:仅使用螺丝刀即可快速、方便地更换规管。
真空接头选择范围广:简化真空系统的安装过程。
Granville-Phillips Micro-lon真空计模块 更换规管
GP系列354微型真空计技术规格参数:
空气和N2的测量范围(请参见一下注释1、2、3和4) | |
Torr | 1x10-9至5x10-2 |
Mbar | 1x10-9至7x10-2 |
Pa | 1x10-7至7 |
发射电流 | 0.1,4mA |
除气 | 电子轰击,3w,带2分钟定时器 |
过压保护 | 在出厂设置压力上*规管关闭 |
重量 | 370gm(12 oz),带NW16KF法兰 |
所需电源 | 24V直流+15%,12W(zui大值) |
工作温度 | 00C至400C环境温度,非冷凝 |
非工作温度 | -400C至700C |
外壳材料 | 铝挤型 |
符合CE标准 | EMC Directive 89/336/EEC,EN 50081-2,EN 50082-2 |
模拟量输出机型 | 1伏/数量级,对数,0至9V |
灯丝控制 | 模块顶部切换开关 |
输入信号 | 灯丝开/关、除气开/关以及发射电流通过对地通断性来设置 |
输出信号 | 灯丝和除气开/关状态由开路集电极晶体管来确定 |
接口 | 9针 D型插针式 |
显示器(选配) | 2位加指数,绿色LED |
数字接口型 | RS-485,配备一个设定点继电器 |
参数可调 | 灯丝开/关、除气开/关、发射电流选择、灯丝选择、设定点(值、方向和滞后) |
波特率 | 19200波特率(默认值) |
数据格式 | ASCII、8数据位、一个停止位、无奇偶校验、无反馈校验(默认值) |
继电器配置 | 单刀双掷(SPDT) |
继电器触点额定值 | 1A,30V直流阻性负载时;0.5A,125V交流非电感式时 |
接口 | 9针 D型插针式 |
Micro-lon真空计 | |
敏感度 | 20/Torr,15/mbar,0.15/Pa |
X射线极限 | <3x10-10Torr,<4x10-10mbar,<4x10-10Pa(请参见以下注释3) |
灯丝材料 | 氧化钇涂层铱丝或钨丝(请参见以下注释4) |
暴露于气体的其他材料 | 304不锈钢,氧化铝,钽,钨,CuAg共晶,Kovar合金 |
内部规管容积 | 10.8cm3(0.66in.3)至接口端面 |
规管烘烤温度 | zui高2000C(拆除电子设备) |
GP 354微型真空计注释:
1.测量结果随不同的气体及混合物而有所变化。在使用说明书中提供有常见气体的校正参数。
2.GP 354微型真空计不可用于易燃易爆气体。
3.X射线极限是真空计zui低显示。接近X射线极限进行可重复测量不可行。
4.钨丝用于涉及含有氟、氯的气体或含有污染氧化钇涂层铱丝的其他气体。一般真空应用不建议使用钨丝,因为钨丝暴露于高压(包括但不限于H2O)时有可能烧断。
尺寸图(毫米,英寸)
模拟量输出信号