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2179A MKS质量流量控制器和截止阀
2179A是通用弹性体密封质量控制器和完整的截止阀。用于各种气体测量和控制流量。当连接到一个合适的压力传感器它可以用作压力控制器。截止阀状态为常闭，阀精确率4x10-9scc/sec。2179A输出信号有模拟和数字模拟。满量程的精度为1%。2179A所需功率低单位操作100mA消耗为±15VDC（200mA开启）。
2179A MKS质量流量控制器和截止阀
例如：型2179a00411cr16vxx
气体选型 | |
Helium, He | 001 |
Argon, Ar | 004 |
Hydrogen, H2 | 007 |
Nitrogen, N2 | 013 |
Oxygen, O2 | 015 |
流量选型，单位SCCM（zui大20000 N2当量） | |
10 | 11C |
20 | 21C |
50 | 51C |
100 | 12C |
200 | 22C |
500 | 52C |
1000 | 13C |
2000 | 23C |
5000 | 53C |
10000 | 14C |
20000 | 24C |
配件 | |
标准：（兼容）Swagelok® 4 VCR® male | R |
可选：（兼容）Swagelok 4 VCO® male | G |
可选：（兼容）Swagelok 1/4" tube | S |
长度适配器w/ 4 VCR配件 | L |
长度适配器w/ 1/4" Swagelok配件* | W |
阀 | |
常闭 | 1 |
连接器 | |
模拟： | |
9针“D”类型 | A |
15针“D”类型 | B |
20针边缘卡 | C |
单元组合仪表15针“D”类型 | N |
微孔15针“D”类型 | T |
连接器 | |
数字： | |
RS-485 | 5 |
DeviceNet™ | 6 |
密封 | |
标准：Viton® | V |
可选：Neoprene® | N |
可选：Buna-N | B |
可选：Kalrez® | K |
固件版本（DeviceNet只） | |
除非另有规定，MKS公司将给当前的版本 | XX |
2179A的接线方式：
CB147-12-10连接2179 9针 “D”型PR4000，246，247，647
CB259-5-10连接2179 15针 “D”型246，247
CB147-1-10连接2179 15针 “D”型PR4000，647
CB259-10-10连接2179 20针的边缘卡246，247
CB147-7-10连接2179 20针的边缘卡PR4000，647
