1479A

1479A

气体选择

Helium, He

001

Argon, Ar

004

Hydrogen, H2

007

Nitrogen, N2

013

Oxygen, 02

015

流量选择

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

接口法兰选择

标准Swagelok 4VCR 公头

R

可选择VCO管

G

可选择Swagelok 1／4”管

S

C-密封表面支架如SEMI2787.1

C

W-密封表面支架如SEMI2787.3F

H

阀门选择

通常情况关闭

1

电通讯连接方式

模拟接口

9针“D”类型

A

15针“D”类型

B

20针“D”类型

C

数字接口

RS-485

5

DeviceNet^TM

6

密封选择

金属，在200sccm以下流量的用Kel-F阀塞，在500sccm以上的用杜邦阀塞

M

版本-*总线适配器

N

除了客户，MKS公司将给当前的版本

B