HTC连续式真空订制腔体
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深圳市科锐诗汀科技有限公司
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连续式(In-line)设备腔体的几何形状大都为矩形,依照基板传输方位可分为立式和卧式,腔体之间视制程的需求装置阀门作为区隔,连续式腔体可以应用在:防电磁波干扰(Anti-EMI)镀膜设备,表面装饰镀膜(SDC)设备、触控面板镀膜设备、薄膜太阳能电池镀膜设备,Low-E玻璃镀膜设备。
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