电离真空计新标准

电离真空计新标准

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2024-04-28 13:11:20
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深圳市科锐诗汀科技有限公司

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产品简介

离子参比真空计 IRG080 是专为真空系统中精确测量总压力而开发的真空传感器。IRG080 基于电离真空计的创新概念(热阴极发射沿直线路径进入法拉第杯的电子),适合作为 10 范围内的参考标准-8mbar 至 10-4毫巴

详细介绍

IRG080电离真空计介绍

       IRG080 提供低至 1% 的精度、可预测的气体灵敏度和非常小的扩散、非常好的短期可重复性和再现性。该测厚仪是计量和校准的理想解决方案。IRG080 由 IRC081 显示器和操作单元连接和控制。

优势:

1为在高真空和超高真空范围内需要高测量精度的应用而开发

2符合 ISO TS 6737 的电极系统配置

3由于可预测的相对气体灵敏度和较小的不确定性,所有气体种类的真实压力

4稳定的电子发射,不受ESD或X射线效应的影响

5可重复且易于运输

6可烘烤至 165 °C(使用耐温电缆)或高达 400 °C(不带连接器单元)

7用于磁屏蔽的Mu金属中间

运营单位:离子参比计控制器 IRC081

参考标准:

1N 的精度低于 1%2

2可预测的气体灵敏度,扩散非常小 (<1.5%)

3真正的总压力测量

4ji jia的短期重复性 (<1%) 和重现性 (<1%)

测量原理:电子离开阴极(左侧),被阳极加速至200 eV,由离子收集器聚焦。电子路径的长度是很好的表征,因此仪表的灵敏度是可预测的。阳极栅内电子产生的离子被加速到集电极并测量为电流。阳极栅外产生的离子被导流板捕获。

一个完整的软件包:

1通过离子参比计控制器IRC081的操作和显示界面

2用户可以控制 IRG080 仪表参数

3IRC081 用户界面软件 (LabVIEW ) 中显示的设置和测量值TM系列)

4数据和参数记录功能

规格:

测量系统    热阴极电离


电极系统配置    符合 ISO TS 6737 标准


测量范围 (N2) 带 IRC081 控制器<1×10-8...1×10-4毫巴    


灵敏度 (N2,典型值)    29 毫巴-1


精度 (N2,典型值)    阅读量的<±1%


重复性 (N2)    阅读量的<1%    


馈通    铝2O3陶瓷


烘烤温度    ≤400°C


暴露在真空中的材料    不锈钢、镍铁钴、铝2O3、塔、西













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