透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。

200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能

通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。

对于包括科研用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。

产品特点

• 标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）

• 搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪

• 镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升

• 观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像

• 采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆

• 支持高立体角EDX的对称配置（对称Dual SDD）

• 采用全新构造的机体外壳盖

• 配备日立生产的高性能样品杆