设备特点

•密封可靠且耐腐蚀：采用工业级密封结构，防止气体泄漏，尤其适配危险气体场景；接触气体部件用耐腐蚀材质，延长设备寿命，适配化工、半导体等腐蚀性气体环境。

•装配与适配便捷：装配工艺简单，维护时无需复杂工具；兼容各类气体测量，减少企业重复采购成本。

•低零漂设计：传感器采用对称性结构，受环境干扰更均匀，降低零点偏移，提升低流量测量准确性，避免工艺参数误判。

•多通讯方式兼容：除基础的 RS485、DeviceNet 外，还支持 EtherCAT 主流协议，可灵活对接 PLC、MES 等系统，提升产线自动化水平。

产品应用

•流量规格（氮气）：100/200SLM（标准升每分钟），覆盖不同产能场景；

•准确度：流量＞35% 满量程时，误差 ±1.0% 设定点；≤35% 满量程时，误差 ±0.35% 满量程，高低流量区间均保精准；

•重复精度：±0.2% 满量程，多次测量偏差小，保障工艺流量稳定，适合半导体薄膜沉积等精密场景；

•响应时间：≤1 秒，快速捕捉流量变化，便于系统及时调整，避免流量失控影响产品质量。