双电测四探针测试仪 型号:CN61M/RTS-9库号：M378117   查看hh指标 测量范围： 电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)； 方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)； 电导率：10-5～105 s/cm； 电阻：10-5～105 Ω； 可测晶片厚度：≤3mm 可测晶片直径：140mmX150mm(配 S-2A 型测试台)；200mmX200mm(配 S-2B 型测试台)；400mmX500mm(配 S-2C 型测试台)； 恒流源：电流量程分为 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流 连续可调 数字电压表： 量程及表示形式 000.00～199.99 mV；分辨力：10µV；输入阻抗＞1000MΩ； 精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、chao量程自动显示； 四探针探头基本指标：间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢 Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 模拟电阻测量相对( 按 JJG508-87 进行)：0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1 字 整机测量标准不确定度：≤4％ 测试标准： 采用双电测测试标准，通过 双电测测试软件控丨制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算 出电阻值。仪器主机也可兼容四探针测试软件实现单电测测试标准，