质量流量控制器 型号:QX05-CS200A 库号：M405886

数字式气体质量流量计/流量控制器，高精度，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm

橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet




主要特点：

1.数字化，橡胶密封

2.高精度，快响应

3.极低零漂及温漂

4.良好的兼容性


技术参数：

产品型号
CS200-A型

产品类型
高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,

1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm

产品精度
±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重复精度
±0.2% FS

线性
±0.5% F.S.

响应时间
≤1sec

工作温度范围
(5~45)°C

耐压
3MPa

密封材料
氟橡胶Viton

输入输出信号
(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus

电源
±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

阀类型
常开(流量量程≤30slm)或常闭

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S/℃；

调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM

调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM

零点飘移指标
＜0.6%F.S. per year without autozero

电气连接
Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作压差范围
(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）

漏率
1×10-10 Pa?m3 / sec He

标准接头形式
双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”

表面化学成分
- 无 -

表面粗糙度
25μinch

抗电磁干扰
CE

重量
1Kg
质量流量控制器 型号:QX05-CS200A 库号：M405886

质量流量控制器 型号:QX05-CS200A 库号：M405886