小型离子溅射仪型号:BZ19-SBC-12库号：M121692

主要性能指标：

玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm

试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯

金靶尺寸：Φ58mm

真空系统：直联旋片真空泵2L／S

真空检测：皮氏计

真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空

工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节中西集团