品牌
生产厂家厂商性质
所在地
日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪
XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪
规格
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷、磷烷、、硅烷、氢气
AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H2
0.2、0.3、0.1、0.5、1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10 秒以内
