白光干涉
3D形貌测量系统
粗糙度・台阶・轮廓・三维形貌・类SEM效果
3D Surface Profilers
AM-7000系列 精度高达亚纳米级 在线检测快至1秒
广泛应用的行业
1精确捕捉 超高精度 微观3D形貌的能力
AM-7000可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，以“面”的形式获取表面3D形貌
通过专用软件对3D形貌进行处理和分析，RMS重复性可达0.002nm
2超高速 极大提高测量效率，可用于自动化产线
AM-7000搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件，扫描速度400μm/秒， 3200Hz加以业内SST+GAT算法，可瞬间完成500万点云采集
3大视野高精度 大视野、大范围测量
白光干涉原理通过光干涉相位计量任意放大倍率下均可获得＜1nm的检测精度
4丰富的测量工具 从容应对各种行业应用
涵盖市场上通用的国际标准测量工具，高效率轻松分析3D数据
白光干涉原理
点A和点B的干涉条纹亮度峰值之间的差即为高度差
两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源可产生光的干涉
相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的 相 位 为 Ø，距 离 参 考 面 的 高 度 为 h，则Ø=4h/λ。借助相位测量法，使用压电陶瓷移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（Ø），然后将其转换为高度h。
垂直扫描干涉法物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮度达到。通过确定CCD光接收元件中每点干涉条纹亮度的Z轴高度，可测出3D轮廓即高度差。
大视野高精度
大视野、大范围测量
白光干涉原理通过光干涉相位计量，任意放大倍率下均可获得＜1nm的检测精度
拼接大范围下的高精度测量
高精度、高速度XY拼接平台
丰富的测量工具
面粗糙度、线粗糙度、台阶高度、三维形貌、模板设置、统计功能、面积、线型对比、面型对比、直径、半径 、两点距离、角度、弧度、同心度、轮廓分析、提取等高线、分形分析、剖面、形态滤波、图形计算、皱纹、峰的统计、纹理均质性、纹理方向、坡度方向、波峰波谷、函数统计、粒子分析
| 技术参数 | | | |
| 型号 | ER-230 | EX-230 | NA-500 |
| 像素 | 230万 | 500万 |
| 扫描原理 | 白光干涉 |
| 扫描装置 | 压电陶瓷 |
| 扫描范围 | 5000um | 400um | 100um |
| 扫描速度 | 400um/s | 400um/s | 200um/s |
| 被测物反射率 | 0.02%~99% |
| 光源 | 白光光源，波长520nm 中心波长为绿光波段 | 白光光源，波长520nm 中心波长为绿光波段 | 白光光源，波长465nm 中心波长为蓝光波段 |
| 传感器重量 | 约2kg |
| 显示分辨率 | 0.001nm | 0.001nm | 0.001nm |
| RMS重复性*1 | 0.005nm | 0.003nm | 0.002nm |
| 1P台阶重复性*2 | 0.09% | 0.06% | 0.05% |
| 1-0台阶准度*3 | 0.5% | 0.3% | 0.2% |
| 工作环境 | 工作温度 | 18-22 °C |
| 允许工作温度 | 10-35 C |
| 储藏温度 | 0-45 C |
| 相对湿度 | 20-80%，无凝结 |
| 电源 | AC (100-240V/50~60H 乙 ~1A) |
○ 保持环境整洁，无油污，液体，粉尘
○ 避免建筑共振，建议低楼层或预设框架式结构放置
○ 避免机械扰动，建议远离大型机械放置
○ 避免气流振动，建议远离急促空气流动放置
○ 建议选配隔振机构 |
