PJ80半导体检查显微镜

一、仪器简介：

1、物镜转盘等采用电动切换模式，操作更 加方便快捷。配置 8寸超大移 动平台，为半导体、FPD 检测提供的 应用环境。可支持 200mm 晶圆及14 英寸液晶面板的检查。

2、显微镜采用长工作距离复消色差APO物镜， 2X/NA0.06/WD34, 5X/NA0.15/WD45, 10X/NA0.3/WD34,     20X/NA0.3/WD31（可选50X物镜NA0.45,WD20.1和100X物镜NA0.80,WD6）。超长的工作距离带来更自由的操作空间。特别适合半导体探针，点墨，擦拭，清洁等工站使用。

3、采用全新LED照明系统和光学系统，照明均匀，成像清晰。突破性的大金相机架设计，可承载8英寸超大工作平台， 平台面积525mmX330mm， 采用了离合器驱动的手动XY载物台,移动行程210*210mm。