★ 搭载有75W高功率X射线管

     ・　能够提高X射线的生产效率，实现高精度的测量

     ・    有效缩短测量时间，只需过去的1/4 

★ 搭载超微小型准直器

      ・　除了搭载了标准配置的50μm准直器，还有测量微小部位用的15μm准直器

      ・　对应所选择准直器的实际X射线光束照射的尺寸可显示在样品画面上

★  倍率式光学系

     可以准确地对微小部分进行对焦，还可以对应各测量点间有高低的样品

★  实现了高精度自动X-Y-Z样品台与图像处理软件的高速自动测量

★  拥有防冲功能

★  搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板（SFT9355）

★  搭载激光对焦系统

★  搭载测试报告自动生成软件

★  搭载了高功率X射线管

★  拥有自动测量软件以及中心搜索软件

★  搭载了薄膜FP法软件、图像处理软件以及块体FP法软件