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| 产品类型 | ZHLM-X150-Y150 | |
| 轴 | X/上轴 | Y/下轴 |
| 行程 | 150 mm | 150 mm |
| 分辨率 | 1Vpp | 1 Vpp |
| 定位精度 | 2μm | 2μm |
| 重复精度 | ±0.5μm（3δ） | ±0.5μm（3δ） |
| 直线度 | 5μm（可定制，达2μm） | 5μm（可定制，达2μm） |
| 平面度 | 5μm（可定制，达2μm） | 5μm（可定制，达2μm） |
| 速度 | 500 mm/s | 500 mm/s |
| 加速度 | 15000m/s² | 15000m/s² |
| 负载 | 5 kg | |
| 外形尺寸 | 300x300x107mm | |
| 质量 | 24 kg | |
