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图1、图2、图3 分别为AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路图。
图1AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路 图2 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的双传感电路
3图 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的差分放大电路图
AWM3000系列气体质量流量传感器技术规格：10.0±0.01VDC
| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | |||
| 流量范围（span） | +200sccm | +30sccm | +1000sccm | |||
| 压力范围（psi） | ||||||
| （参照附录） | ± | |||||
| 输出电压 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 标定点 | 200sccm | 25sccm | | 1000sccm | ||
| 零点电压 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零点漂移 | ||||||
| +25~-25˚C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85˚C | ||||||
| 输出电压漂移 | ||||||
| Max | ||||||
| +25~-25˚C | -4% 读数 | ±5.0% 读数 | +24.0% 读数 | -5% 读数 | ||
| +25~+85˚C | +4% 读数 | ±5.0% 读数 | -24.0% 读数 | +5% 读数 | ||
| 重复性& 迟滞Max | ±0.5% 读数 | ± 1% 读数 | ±0.5% 读数 | ±1% 读数 | ||
| Min Typ. | Max. | |||||
| 电源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | ||||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | ||||
| 反应时间（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | ||||
| 共模压力（psi） &, lt;, /TD> | | 25 | ||||
| 工作温度 | -25~85˚C | |||||
| 储存温度（˚C） | -40~90˚C | |||||
| 冲击（5drops,6axis） | | |||||
注：1、信号处理zui初预热所须时间zui多1 分钟
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的温飘
4、为防止损坏，zui大允许流量变化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列气体质量流量传感器*型号:
| *型号 | 量程 |
| AWM3100V | +200SCCM |
| AWM3201CR | ± |
| AWM3200V | ± |
