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| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范围（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 压力范围（psi） | | | | | ||
| （参照附录） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 输出电压 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 标定点 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零点电压 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零点漂移 | | | | | ||
| +25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85?C | | | | | ||
| 输出电压漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25?C | -4% 读数 | ±5.0% 读数 | +24.0% 读数 | -5% 读数 | ||
| +25~+85?C | +4% 读数 | ±5.0% 读数 | -24.0% 读数 | +5% 读数 | ||
| 重复性& 迟滞Max | ±0.5% 读数 | ± 1% 读数 | ±0.5% 读数 | ±1% 读数 | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 电源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反应时间（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模压力（psi） &, lt;, /TD> | | 25 | | |||
| 工作温度 | -25~85?C | | | |||
| 储存温度（?C） | -40~90?C | | | |||
| 冲击（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
| | AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
| 流量范围 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
| 后缀-标定气体 | VA-氩气（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮气（N2） | |||
| | Min Typ Max | |||
| *供电电源VDC | 8.0 10±0.01 15 | |||
| 功耗（mW） | 100 | |||
| 反应时间（mA） | 60 | |||
| 零点输出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
| 零点漂移，VDC -20~70?C | ±0.050 ±0.200 | |||
| zui大共模压力psi | 50 | |||
| 温度范围 | -20~+70?C | |||
| 冲击指标 | 100g峰值，6ms 半正弦（3drops,3 的每一方向） | |||
| 输出@ 较整点 | 5VDC@ 满量程流量 | |||
| 压差@ 满量程 | 参照压力& 气流表 | |||
| 满量程输出漂移+20?~-25?C +20?~70?C | 后缀VA 或VN ±7.0% 读数，VC ±10.0% 读数 | |||
| 线性误差 | ±3.0% 读数 | |||
| 迟滞& 重复性 | ±0.5% 读数 | |||
| 连接器（4pin receptacle） | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄漏 max | 0.1psi/min,在静态中 | |||
