低温恒温槽对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。

 

低温恒温槽操作注意事项：

（1）使用前应加入液体介质  

（2）使用电源50HZ220V，电源功率要大于或等于仪器总功率，电源必须有良好的＂接地＂装置。  

（3）仪器应安置于通风干燥处，后背及两侧离开障碍物30mm距离。  

（4）使用完毕，所有开关要处于关机状态，拔下电源插头。  

 

低温恒温槽产品特点：  

节约能源——在夏季和高环境温度下，冷却水可在系统回路中循环使用，节约大量的水资源。  

效率更高——一台循环水设备可同时满足多台外部设备的冷却需求，持续提供低温恒温水源，适用于冷凝实验。  

控温精度——PID控温技术，内置PT100传感器、控温精度高，温度数字显示，操作直观  

安全性高――具有自我诊断功能；冷冻机过载保护等多种安全保障功能。  

 

低温恒温槽显著技术  

1.全封闭压缩机组制冷,制冷系统具有过热、过电流多重保护装置。  

2.循环泵可以把槽内被恒温液体外引,建立第二恒温场。  

3.槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验  

4.采用XMT模拟数字PID自动控制系统，温度数字显示。  

5.内胆、台面均为全不锈钢，清洁卫生，美观耐腐蚀。  

6.DCW系列为卧式,便于置于超作台内。