机构放大式压电促动器是通过叠堆式压电陶瓷进行机构设计,与柔性铰链支撑结构、放大结构及外壳结构组合成一体,将压电陶瓷的直线位移进行放大,并在其位移的垂直方向进行输出的促动器,且具有微位移分辨率高、稳定性强等特点。与直驱压电促动器相比,在相同条件下,机构放大式压电促动器产生的位移更大,出力会相对小。
由芯明天研发生产的80A14机构放大式压电促动器,是利用钢制外椭圆形机械放大结构设计,既可以对压电叠堆陶瓷提供优化预紧力,也可起到保护作用,避免内部压电叠堆陶瓷承受过大的拉力导致损坏。80A14机构放大式压电促动器行程可达105μm,空载谐振频率1700Hz,倒置承载能力高达50kg,产品外观如下图所示。行程可达105μm
倒置承载高达50kg
出力>1000N
空载谐振频率高
纳米级分辨率
• 视光学:探针扫描、光学透镜的定位、光开关、快门/快门防抖、微扫描、晶片测试、天文学、聚焦定位、激光腔调谐、光纤的耦合和形变、FBG(光纤布拉格光栅)的形变、斩波器、干涉仪、PDP晶体切割、调制器等。• 机械学:光纤拉伸、工具定位、取放工具、金刚石车削、椭圆活塞加工、阻尼、动态控制、新一代超声波或声波振动、NDT、器件疲劳度监测等。• 流体学:比例阀、泵、测流技术、喷墨技术、注射器、液滴发生器等。