XD106.XYZ60K-超低温真空无磁压电扫描台-哈尔滨芯明天科技有限公司手机版

详细介绍

超低温真空无磁压电扫描台

由芯明天研发生产的XD106.XYZ60K压电扫描台是一款三维运动压电平台，它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计，可进行XYZ三维扫描运动，采用低温压电驱动，耐低温可达4K，它的体积小巧，尺寸仅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外壳采用轻型耐低温、无磁材料，采用低温双绞线，以适应低温环境下的使用。

超低温真空无磁压电扫描台产品特点

· 低温真空无磁，耐低温可达4K

· XYZ三维运动

· 4K温度下位移达30μm/轴

· 分辨率可达2nm

· 开环运动控制

· 响应速度快

产品应用

· 半导体加工

· 半导体检测

· 高精密测试和操作

· 其他真空无磁要求的纳米运动控制等

技术参数

型号	XD106.XYZ60K
运动自由度	X、Y、Z
驱动电压	0~60V@常温 0~150V@低温4K
标称行程范围（常温）	70μm/轴 @0~60V，常温
标称行程范围（低温）	30μm/轴 @0~150V，4K温度
中心通孔直径	10mm
分辨率	2nm
空载谐振频率	X415/Y465/Z497Hz
带载200g谐振频率	XY105/Z229Hz
静电容量	XY5.4μF，Z10.9μF
材质	钛
承载能力	200g
重量	220g
使用方向	倒置使用

产品简介

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