芯明天直驱机构式压电扫描台P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。

芯明天直驱机构式压电扫描台P77压电扫描台典型应用

• 显微成像

• 表面检测

• 闭环重复定位精度高

• 干涉/计量

• 精密定位

• 移相器 •

 光学捕获

应用案例

大孔径、大承载、高谐振频率

P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计， 利用有限元分析优化， 刚度可达8 N/ μm，空载谐振频率 300Hz。

闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，可 实现纳米级的重复定位精度及线性度。

压电扫描台中心106mm的大通光孔，该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。

芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特 点广泛应用于现代干涉仪中，大大提高了干涉仪的测量精度。

P77压电扫描台特性：

Z轴运动

• 大行程20μm

• 大承载5kg

• 通孔直径：Ø106mm

技术参数：