运动方式  

   频率负载曲线  

  闭环曲线  

闭环传感输出监测电压与偏转镜输出偏转角度成线性关系。

  小体积、高动态、开环闭环可选  

结构原理  

压电驱动俯仰/偏转台（快反镜/倾斜镜，光束偏转，相移器）提供比音圈电机类产品更高的加速度及带宽，θx轴偏转范围 4mrad，偏转分辨率达0.1μrad，开环闭环可选，闭环传感器包括应变传感器及电容传感器，可获得更高的定位精度。

超小体积设计，具有非常快的响应速度，可带载Ø15mm的镜片实现0.8ms的阶跃时间。

平台由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。

如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用差分驱动压电偏转镜。

  应用  

  产品测试  

       • 图像处理/稳定  • 光束扫描   • 隔行扫描、抖动  • 光束偏摆/稳定  • 光学、激光扫描、通信  • 光过滤/转换  • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜