新品推荐|N18.Z5K小体积直线马达,Z向升降!
时间:2024-09-19 阅读:1291
N18.Z5K压电马达内部采用粘滑原理驱动,将压电陶瓷的微变形量,通过特殊结构设计,输出宏动直线毫米行程,实现高精度定位。N18.Z5K为Z向升降式压电马达平台,行程可达5mm,分辨率可达6nm,速度可达3mm/s,可在真空、低温、无磁的应用环境中使用。它的运动形式为整体运动面做Z向升降,可使带载样品四周不受遮挡,其尺寸仅为24×24×20mm^3,专为空间受限的应用而设计。产品外观如下图所示。
产品特点
Z向运动
行程可达5mm
分辨率可达6nm
负载能力可达0.15kg
速度可达3mm/s
真空、低温、无磁环境适用
产品应用
超分辨成像样品移动
光纤对接
纳米聚焦与扫描
原子力显微镜
半导体精密定位
微纳装备及制造
技术参数
型号 | N18.Z5K |
运动自由度 | Z |
标称行程范围 | 5mm |
速度上限(任意方向) | 3mm/s |
分辨率 | 6nm |
推/拉力 | 3N |
保持力(断电自锁) | 5N |
负载(水平方向) | 0.15kg |
加载后速度上限(水平方向) | 3mm/s@150g |
负载(垂直方向) | 0.1kg |
加载后速度上限(垂直方向) | 2mm/s@100g |
工作温度 | 0~50℃ |
电缆长度 | 1.5m |
材质 | 钛 |
重量 | 40g |
E53.C1K-J压电控制器适用于驱动N18.Z5K压电马达,它是单通道开环压电控制器,采用数字控制,24VDC供电,静态功耗小于5W,通信接口为TYPE-C、RS-422、RS-232,操作便捷,尺寸仅105×103×30.1mm^3,外观体积小巧,结构紧凑,易于集成。
配套控制器
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