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新品推荐|P66.X2K-B1Z一维高精度真空压电纳米定位台

时间:2024-08-06      阅读:691

P66系列压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源,内部采用直驱或放大机构设计的1~3维运动的压电位移平台,可达毫秒级响应、纳米级定位精度,并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适用于定位应用,如干涉中光路径长度修正,显微或扫描应用中的样品定位等。
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1~3维P66系列压电纳米定位台

P66.X2K-B1为P66系列新推出的一款一维真空压电纳米定位台。该产品采用直驱结构,X向最大位移2.4μm,开环分辨率可达0.5nm,承载可达2kg,谐振频率可达12kHz,它尺寸为70mm×85mm×20.5mm,体积非常小巧,定制航空连接器,可在真空环境下使用,芯明天可定制真空工作环境使用产品达2E-11mbar。P66.X2K-B1产品外观如下图所示。
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产品特点



一维X向运动
精度可达0.5nm
承载可达2kg
谐振频率可达12kHz
毫秒级响应时间
定制采用航空连接器
真空版本,可选配闭环版本

产品应用



干涉
显微/扫描
光学测量
微加工/精密控制
计量

技术参数



 

型号
P66.X2K-B1Z
运动自由度
X
驱动控制
1路驱动
标称行程范围(0~120V)
1.9μm
行程范围(0~150V)
2.4μm
开环分辨率
0.5nm
空载谐振频率
12kHz
带载谐振频率
10kHz@20g
阶跃时间
2ms
静电容量
0.58μF
工作温度范围
-20~80℃
承载能力
2kg
材质
不锈钢、铝合金
重量
310g

 


配套控制器



E53.C1K非常适用于驱动P66.X2K-B1Z压电纳米定位台。它是一款小体积单通道压电控制器,24VDC/1.5A供电,采用模拟或数字控制,通信接口为USB/RS-422/RS-232,带宽10kHz,尺寸为148mm×27.5mm×80mm,体积小巧,易集成。

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