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新品|N11.X3.5KZ真空版超小体积直线压电马达

时间:2023-11-01      阅读:713

电马达是由压电陶瓷作为驱动马达,利用特殊机械结构设计,将压电陶瓷产生的直线微位移转换为机械平面的宏观直线(或角度)运动,行程可达几十毫米(或360°),根据运动方式可分为直线压电马达和旋转压电马达当今工业和高科技领域对高精密自动化控制的需求下,压电马达由于大行程、高精度、小体积等优势,广泛应用于半导体技术、光学仪器设备、医疗生物显微设备、精密加工设备、航空航天等领域。

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本次给大家介绍一款真空版超小体积直线压电马达,型号是N11.X3.5KZ采用粘滑原理,将PZT 压电陶瓷的微运动转换为毫米级长行程。它的体积非常小巧,15×15×7mm^3而它的行程却可高3.6mm,可通过单独使用或组合使用进行1-3维运动,运动速度可达2mm/s真空度可选10^-610^-9mbar版,非常适用于受限空间和环境中毫米范围行程的调整应用。


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产品特点

• 行程可达3.6mm
• 一至三维可选
• 体积小、重量轻
• 速度可达 2mm/s
• 断电自锁

产品应用

N11.X3.5KZ直线压电马达可在超分辨成像样品移动、微纳装备及制造、扫描电镜(SEM)样品操纵、纳米聚焦与扫描、主动光学、集成电路制造与检测、显微及纳米CT、大范围电子束直写(EBL)、高真空样品精度对准及调姿等高精密运动控制系统或设备中广泛应用。

技术参数


型号
N11.X3.5KZ
运动自由度
X
标称行程范围
3.6或±1.8mm
速度上限
2mm/s
开环分辨率
20nm
出力
0.5N
保持力(断电自锁)
1.5N
承载能力(水平方向)
0.3kg
承载能力(竖直方向)
0.03kg
轴向刚度
1N/μm
侧向刚度
2N/μm
工作温度
0~50℃
电缆长度
1.5m
材质
铝,不锈钢
质量(不包含电缆)
6g


配套控制器

由芯明天研发生产的E53.C1K-J压电控制器非常适用于驱动N11.X3.5KZ,它是单通道压电控制器,尺寸仅105×103×30.1mm^3,采用数字控制,外观体积小巧,结构紧凑、易于集成。
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