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新品推荐|ZT50N81K8压电螺钉调平台,适用晶圆调平!

时间:2023-07-26      阅读:657

本次给大家介绍一款电动压电螺钉调平台——ZT50N81K8,它是专为三轴调平而设计,具有三个直线促动点,通过二维θx、θy 偏转和 Z 向升降运动可对载物台进行调节,主要的特点就是定位精度高,承载能力强,电动操作更便捷,因其高精度、可控性强、实用性高因而广泛应用于科研、激光应用、工业自动化等领域


ZT50N81K8压电螺钉调平台台面直径160mm,直线行程可达3mm,θx、θy 偏转角度为±1.5°,角分辨率可达0.3μrad,承载可达2kg,具有出色的长期稳定性,且能在断电情况下继续保持在设定位置,断电自锁。实物外观如下图所示。

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产品特点


• 三维偏转运动 
• 亚微弧度角分辨率 
• 断电自锁 
• 电动操作更灵活


产品应用

• 科学研究 
• 光学 
• 实验室系统结构搭建 
• 三轴调平 
• 晶圆调平 
• 工业应用


技术参数

型号
ZT50N81K8
台面直径
160mm
运动自由度
θx、θy、Z
电动轴
3个
角度范围
±1.5°
直线行程
3mm
直线运动方向
Z
角分辨率
0.3μrad
承载能力
2kg
促动器
压电螺钉促动器
工作温度
10~40℃
重量
1800g
压电螺钉连接器
RJ11


半导体领域调平

ZT50N81K8压电螺钉调平台以其高精度、大行程及多维运动,使其非常适用于半导体领域的调平,例如晶圆调平等。


配套控制器

芯明天E53.C4K压电控制器可用于驱动ZT50N81K8压电螺钉调平台,采用24VDC供电,4通道版本可使用切换方式驱动4支压电螺钉,采用数字信号控制,与压电螺钉间可通过网口连接,且体积小、易集成。



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