新品推荐|ZT50N81K8压电螺钉调平台，适用晶圆调平！
时间：2023-07-26 阅读：555
本次给大家介绍一款电动压电螺钉调平台——ZT50N81K8，它是专为三轴调平而设计，具有三个直线促动点，通过二维θx、θy 偏转和 Z 向升降运动可对载物台进行调节，其主要的特点就是定位精度高，承载能力强，电动操作更便捷，因其高精度、可控性强、实用性高，因而广泛应用于科研、激光应用、工业自动化等领域。
ZT50N81K8压电螺钉调平台台面直径160mm，直线行程可达3mm，θx、θy 偏转角度为±1.5°，角分辨率可达0.3μrad，承载可达2kg，具有出色的长期稳定性，且能在断电情况下继续保持在设定位置，断电自锁。实物外观如下图所示。
产品特点
产品应用
技术参数
半导体领域调平
ZT50N81K8压电螺钉调平台以其高精度、大行程及多维运动，使其非常适用于半导体领域的调平，例如晶圆调平等。
配套控制器
芯明天E53.C4K压电控制器可用于驱动ZT50N81K8压电螺钉调平台，采用24VDC供电，4通道版本可使用切换方式驱动4支压电螺钉，采用数字信号控制，与压电螺钉间可通过网口连接，且体积小、易集成。
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