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芯明天压电物镜定位器应用于半导体晶圆质量检测系统

时间:2023-06-14      阅读:829

随着半导体产业的发展和制造工艺的发展,对晶圆质量检测要求高效准确,能够精准捕捉缺陷,特别是晶圆作为半导体芯片制造的基本元件,准确度非常重要,所以晶圆质量检测高度依赖超精密仪器测量,可通过激光共聚焦显微镜来实现晶圆质量检测,帮助改善制造工艺,提高良品率。

激光共聚焦显微镜以激光作为光源,采用共轭聚焦装置,激光束经照明针孔,经由分光镜反射至物镜,并通过压电物镜定位器带载物镜进行精密定位调整聚焦于样品上,对标本焦平面上每一点进行扫描。组织样品中如果有可被激发的荧光物质,受到激发后发出的荧光经原来入射光路直接反向回到分光镜,通过探测针孔时先通过压电物镜定位器带载物镜聚焦,聚焦后的光被光电倍增管(PMT)探测收集,并将信号输送到计算机,处理后在计算机显示器上显示图像 ,利用计算机进行图像处理,对样品进行无损伤观察和分析样品的三维空间结构。压电物镜定位器在此应用中起到两次聚焦作用,通过带载物镜进行Z向纳米级定位精度调节,使聚焦精度更高,成像更清晰。

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芯明天压电物镜定位器

芯明天压电物镜定位器采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置,可带动物镜聚焦提高精度,分辨率可达纳米级,可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、莱卡等多种标准镜头。

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