采用柔性铰链机构，铰链机构基于固体的弹性变形，无滚动和滑动部分，具有零摩擦、高精度的特点，并且具有很高的刚度和承载能力。更重要的是，芯明天压电纳米定位台的定位精度可达纳米级甚至亚纳米级。

 

　　压电纳米运动系统采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。同时压电效应将电能直接转换为运动，在静态操作时，即使在负载情况下，也不会消耗功率。

 

　　除了在光刻实验中有着应用，还在激光直写系统中有着广泛的应用。激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗腐蚀材料实施变剂量曝光，显影后在抗腐蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓，激光直写系统的基本工作原理是由计算机控制高精度激光束扫描，在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形，从而把设计图形直接转移到掩模上。