精密扫描台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，压电扫描台中心具有通孔且体积小巧、无摩擦、分辨率高、响应速度快，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有可靠性。产品主要应用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微成像系统等。

 

　　精密扫描台由容性负载驱动，可产生毫秒级的响应时间，响应速度非常快，同时由于自身的材料特性，使其在使用过程中不受干扰，能够实现性能输出。

 

　　压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X/Z/XY/XZ/XYZ轴精密运动的压电平台。运动范围大可达375μm，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有可靠性，压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。

 

　　压电纳米运动系统采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高的导向精度，具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。同时压电效应将电能直接转换为运动，在静态操作时，即使在负载情况下，也不会消耗功率。

 

　　压电扫描台是以压电陶瓷作为驱动源，压电陶瓷是高精度致动器，通过控制电压的微小变化产生非常小的位移，可达到亚纳米级。从适用于小型设备（如红外热成像）的小通孔压电扫描台到大型设备（如大口径干涉仪）用的大通孔压电扫描台，多种规格型号可选。