什么是宏微复合式压电移相器？

压电式移相器介绍

压电式移相器（也称压电陶瓷移相器），是基于压电陶瓷设计并通过驱动压电陶瓷产生微运动来实现移相功能的，在电压信号的控制下产生纳米级步进运动，完成干涉中要求的微小移相运动。

移相干涉技术(phase shifting interferometry)是一种利用干涉图对光学元件进行测量的技术，其中核心部件为移相器，一般常用微位移运动器件驱动实现。压电式移相器，以其优良的测试精度而被广泛用于各种现代干涉仪器中，并被广泛地应用于各个领域。

压电式移相器是由压电控制器所驱动，它所能移动的位移与压电控制器施加于它的电压信号有关，并与其大小成线性关系。压电式移相器具有体积小巧、高精度、纳米级高分辨率、响应速度快、高刚度、控制简单且不受磁场影响等优点。

移相器原理作用

压电式移相器的步进可达纳米量级，用于驱动镜片做平行运动,改变参考光的光程,从而在物光和参考光之间引入相移量。

芯明天压电移相器介绍

芯明天ZT35H80K系列压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷驱动，它由直流电压信号来控制，在150V电压下产生的位移约0.7µm，可用于快速步进移相应用。压电陶瓷移相器的驱动电压上限为800V，在此电压下，产生的位移约3.73µm。

该压电移相器是专为移相应用而设计，可通过电压控制进行超快速（µs级）步进调节，同时，可通过手动调节θx、θy两轴的偏转角度，角度调节范围可达±4°。将镜片调节与移相步进结合，使其更方便于像移、干涉测量等应用。

产品特点

•手动与压电调节相结合

•150V电压驱动下，移相行程约0.7µm

•驱动电压上限为800V

•移相行程上限可达3.73µm

•可手动调节θx、θy两轴偏转角度

•手动调节角度范围为0~±4°/轴

•标准可带载镜片直径35mm，可定制

压电式移相器设计

芯明天ZT35H80K系列压电陶瓷移相器由两部分组成，压电陶瓷驱动与手调微动螺钉。为保证对位移的高分辨率要求，压电陶瓷移相器采用压电陶瓷直驱技术结构，确保陶瓷的高分辨率可以直接输出，而不受外部机械结构的影响。手调微动螺钉则采用高精密螺丝和衬套，保证了手动调节的精度。

镜片结构可调

ZT35H80K系列压电陶瓷移相器镜片固定结构采用可更换设计，可以针对不同应用需求更换镜片固定结构尺寸，以适合不同镜片大小的使用。

手动微调结构

ZT35H80K系列压电陶瓷移相器θx、θy两轴偏转，采用手动微调螺钉操作，使用方便快捷，调整角度可达0~±4°/轴。

应用领域

芯明天压电陶瓷移相器可应用于快速纳米级步进、移相、光路调节、干涉测量、快速步进调节等领域。

参数性能

型号：ZT35H80K

运动自由度：压电驱动X

手调θx、θy

压电直线行程：0.7μm@150V

3.73μm@800V

手调θxθy偏转角度：±4°/轴

空载谐振频率：47.8kHz

静电容量：18nF

标准可安装镜片直径：Φ35mm

驱动电压范围：0~800V

重量：175g

压电陶瓷的电压与位移曲线

移相功能主要通过内部压电陶瓷实现，压电陶瓷电压位移曲线如下图：

定制服务

芯明天可提供各种用于移相、步进、干涉、计量等的压电式移相器，例如超小体积型、带有通光孔型、大负载型、大口径式等等，可*根据客户实际应用定制设计。