纳米位移台/压电位移台/压电平移台/压电纳米位移台

纳米位移台即为可产生纳米级步进位移的位移平台，精度在纳米级。“压电”是指由压电陶瓷作为驱动源，分多种驱动方式，如直驱式、放大机构式、马达式。三者相比，响应速度快的为直驱式结构的压电纳米位移平台，行程较大的是压电马达式压电纳米位移平台，可达毫米、厘米甚至米量级。

直驱式机构-压电纳米位移台

直驱式机构的压电纳米位移台具有多种外观，如柱形、环形、平台型等。结构如下图所示。柱形更适于单轴运动、单螺纹负载固定、空间受限的应用。而平台型可输出1至3维的位移，适于单轴或多轴的位移要求的应用。

参数举例

型号：P66.XY

运动轴：X、Y

位移范围：34µm/轴

承载能力：7kg

参数举例

型号：PSt150/10/60VS15

运动轴：Z

位移范围：57µm

推力：2300N

放大式机构-压电纳米位移台

放大式机构的压电纳米位移台是通过分析、设计特殊铰链结构，将压电陶瓷产生的位移进行放大输出，放大倍数自由设计，一般输出范围可在几百微米甚至毫米。外观可分为平台式和椭圆结构式。

参数举例

型号：P11.XYZ

运动轴：X、Y、Z

位移范围：110µm/轴

承载能力：600g

椭圆结构

参数举例

型号：P06.X40A

运动轴：Z(收缩)

位移范围：41µm

出力：125N

型号：P06.X500R

运动轴：Z(膨胀)

位移范围：560µm

出力：100N