适用于光透射及光反射的中空式压电倾斜镜
时间：2018-05-18 阅读：1609
P36中空式压电偏转扫描镜
（具有Φ10mm通光孔）
P36中空式压电偏转镜的中心具有直径10mm的通光孔径，是专为光的透射（例如，光过滤）及反射应用而设计。作为压电偏转镜，它既可产生偏转运动又可产生直线运动，对光束的偏转范围可达1.6mrad；作为移相器，它的直线运动范围可达12µm，也适于调节光的路径长度。响应速度快，可达亚毫秒。
特点:
用于扫描、光学对准及镜子移动装置对准；
Φ10mm中心通光孔；
压电三脚设计；
光束偏转可达1.6mrad；
活塞运动可达12μm（移相器）；
亚毫秒响应，亚微弧度分辨率；
闭环版本具有更高精度；
用于光学、镜片或其他部件；
无摩擦，高精度挠曲导向系统；
平行运动学扩展动态性及更好的多轴精度。
应用案例
图像处理/稳定；
干涉法；
激光扫描/光束偏转；
激光调谐；
光过滤/开关；
光束稳定等。
P36多轴俯仰/偏转平台及Z向定位台是基于压电三脚式设计的快速、紧凑型元件。三脚式设计的特点是在较宽的温度范围内具有优化的角度稳定性。
该压电偏转镜设计可将镜片或光学元件安装在任意方向，且中空设计非常适于光过滤等。
P36压电偏转镜的三脚驱动方式，可在较大的温度范围内提供*化的角度稳定性；体积更小巧；两轴具有相同的偏转角度及相同的动态性能；更快的响应及更好的线性度；同时也防止了偏振旋转。
内部三支压电陶瓷促动器是由三通道控制器来分别单独驱动（用于俯仰/偏转运动）或者同时并联驱动（直线升降运动）。
结构示意图
在开环模式下，俯仰/偏转角度与施加电压基本成线性关系。P36开环型号非常适于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟踪）或由外部传感（例如CCD，PSD）提供反馈的应用。
控制及运动方式
1、开环Z向平台控制方式
内部三支压电直线陶瓷促动器并联连接，提供顶部环在垂直方向的定位（活塞运动）。只需一个驱动通道。
2、开环Z向/俯仰/偏转定位器控制方式
内部三支压电直线陶瓷促动器由一个三通道压电放大器分别单独驱动（或并联）。可实现垂直（活塞运动）定位及俯仰/偏转定位。
高可靠性及长寿命
紧凑的P36系统配备加有预紧力的高性能压电促动器，集成到一个成熟的、通过FEA建模分析的、弯曲导向系统。内部压电促动器为共烧型压电陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。
可配备镜片转接座
P36压电偏转镜/移相器可选择配套镜片转接座，以方便镜片的安装与固定，如下图所示。
频率负载曲线
P36压电偏转镜的使用频率与振动幅度、负载情况、安装方式等条件有关。下图为P36随负载的增加谐振频率的变化曲线。
P36基本技术参数
型号，开环-K | 移相器 | 偏转镜 | 单位 |
P36.Z1K | P36.ZT1K | ||
运动自由度 | Z | Z、θx、θy | |
运动和定位 | |||
zui大偏转角度 | - | 800 | μrad±20% |
Z向zui大行程 | 12 | 12 | µm±20% |
偏转分辨率 | - | 0.02 | µrad，typ. |
直线分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm，typ. |
机械性能 | |||
空载谐频 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% |
空载工作频率 | 2000 | 1500 | Hz±20% |
空载工作频率 | 200 | 150 | Hz±20% |
阶跃时间(响应时间) | 0.5 | 0.5 | ms±20% |
驱动性能 | |||
静电容量 | 0.4 | 0.4 | μF/轴±20% |
其他 | |||
工作温度范围 | -20~80 | °C | |
外形尺寸（直径-内径/高） | 20-10/19.5 | mm | |
注：超低温版本、超高真空版本及连接器等参数可定制。
P36驱动与控制
光束偏转角度为机械偏转角度的两倍。为了达到zui大偏转角度，内部三支陶瓷促动器需要有偏置电压75V。而由于平行运动学设计，直线行程和偏转行程都是独立的。
以下为推荐配套使用的压电控制器及简单参数。
E01 | E53.A | E70 |
|
|
|
3路输出 模拟、上位机通信、旋钮 开环闭环 平均功率7W | 1路输出 模拟输入 开环 平均功率10W | 3路输出 模拟与数字控制 开环闭环 平均功率5W/通道 |
（具有Φ10mm通光孔）
P36中空式压电偏转镜的中心具有直径10mm的通光孔径，是专为光的透射（例如，光过滤）及反射应用而设计。作为压电偏转镜，它既可产生偏转运动又可产生直线运动，对光束的偏转范围可达1.6mrad；作为移相器，它的直线运动范围可达12µm，也适于调节光的路径长度。响应速度快，可达亚毫秒。
特点:
用于扫描、光学对准及镜子移动装置对准；
Φ10mm中心通光孔；
压电三脚设计；
光束偏转可达1.6mrad；
活塞运动可达12μm（移相器）；
亚毫秒响应，亚微弧度分辨率；
闭环版本具有更高精度；
用于光学、镜片或其他部件；
无摩擦，高精度挠曲导向系统；
平行运动学扩展动态性及更好的多轴精度。
应用案例
图像处理/稳定；
干涉法；
激光扫描/光束偏转；
激光调谐；
光过滤/开关；
光束稳定等。
P36多轴俯仰/偏转平台及Z向定位台是基于压电三脚式设计的快速、紧凑型元件。三脚式设计的特点是在较宽的温度范围内具有优化的角度稳定性。
该压电偏转镜设计可将镜片或光学元件安装在任意方向，且中空设计非常适于光过滤等。
P36压电偏转镜的三脚驱动方式，可在较大的温度范围内提供*化的角度稳定性；体积更小巧；两轴具有相同的偏转角度及相同的动态性能；更快的响应及更好的线性度；同时也防止了偏振旋转。
内部三支压电陶瓷促动器是由三通道控制器来分别单独驱动（用于俯仰/偏转运动）或者同时并联驱动（直线升降运动）。
结构示意图
在开环模式下，俯仰/偏转角度与施加电压基本成线性关系。P36开环型号非常适于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟踪）或由外部传感（例如CCD，PSD）提供反馈的应用。
控制及运动方式
1、开环Z向平台控制方式
内部三支压电直线陶瓷促动器并联连接，提供顶部环在垂直方向的定位（活塞运动）。只需一个驱动通道。
2、开环Z向/俯仰/偏转定位器控制方式
内部三支压电直线陶瓷促动器由一个三通道压电放大器分别单独驱动（或并联）。可实现垂直（活塞运动）定位及俯仰/偏转定位。
高可靠性及长寿命
紧凑的P36系统配备加有预紧力的高性能压电促动器，集成到一个成熟的、通过FEA建模分析的、弯曲导向系统。内部压电促动器为共烧型压电陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。
可配备镜片转接座
P36压电偏转镜/移相器可选择配套镜片转接座，以方便镜片的安装与固定，如下图所示。
频率负载曲线
P36压电偏转镜的使用频率与振动幅度、负载情况、安装方式等条件有关。下图为P36随负载的增加谐振频率的变化曲线。
P36基本技术参数
型号，开环-K | 移相器 | 偏转镜 | 单位 |
P36.Z1K | P36.ZT1K | ||
运动自由度 | Z | Z、θx、θy | |
运动和定位 | |||
zui大偏转角度 | - | 800 | μrad±20% |
Z向zui大行程 | 12 | 12 | µm±20% |
偏转分辨率 | - | 0.02 | µrad，typ. |
直线分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm，typ. |
机械性能 | |||
空载谐频 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% |
空载工作频率 | 2000 | 1500 | Hz±20% |
空载工作频率 | 200 | 150 | Hz±20% |
阶跃时间(响应时间) | 0.5 | 0.5 | ms±20% |
驱动性能 | |||
静电容量 | 0.4 | 0.4 | μF/轴±20% |
其他 | |||
工作温度范围 | -20~80 | °C | |
外形尺寸（直径-内径/高） | 20-10/19.5 | mm | |
注：超低温版本、超高真空版本及连接器等参数可定制。
P36驱动与控制
光束偏转角度为机械偏转角度的两倍。为了达到zui大偏转角度，内部三支陶瓷促动器需要有偏置电压75V。而由于平行运动学设计，直线行程和偏转行程都是独立的。
以下为推荐配套使用的压电控制器及简单参数。
E01 | E53.A | E70 |
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3路输出 模拟、上位机通信、旋钮 开环闭环 平均功率7W | 1路输出 模拟输入 开环 平均功率10W | 3路输出 模拟与数字控制 开环闭环 平均功率5W/通道 |