微光学元件是光电子系统实现小型化的关键部分，它体积小、质量轻、造价低等优点且可实现普通光学元件很难实现的微小、阵列、集成、成像和波面转换等新功能，因此微光学元件具有非常广阔的应用前景。

微光学元件

     微光学元件的表面轮廓非对称，它的形状复杂，加工精度要求高，传统的加工方法如模仿形加工等加工效率非常低，且很难满足技术要求。而微表面制造技术如激光束直写技术等，存在一定的局限，像对材料、设备要求高，精度一致性差，且工艺可控性也不好等。

为了提升微光学元件加工精度，哈尔滨芯明天科技有限公司设计研发生产出新型压电陶瓷驱动式P93快刀伺服系统，它具有响应速度快、加速度高、定位精度高、输出力密度大、刚度大、传动机构简单、系统稳定性好、易于控制等优点，使其性能参数满足快刀加工的技术要求。从而实现复杂面形零件样件的超精密加工。

 P93快速刀具定位器

快速刀具定位器在快速车削加工过程中控制刀具产生高频响、小范围的Z向快速精密进刀运动，配合高精度的主轴回转及X向位移运动，来完成复杂非面形零件的精密车削加工，在车削加工中起着关键性作用。

刀具工作方式

刀具驱动式，即快速刀具定位器带动刀具做高频响、高精度运动；

载物式，即快速刀具定位器带载待加工件做高频响、高精度运动。可根据客户具体应用要求进行特殊定制。

刀具驱动式

载物式

采用芯明天快速刀具定位器加工微结构，可实现真正的三维结构加工，成形精度可达到纳米级，无须后续抛光处理，加工效率高，且可加工相对较大尺度的元件，可重复加工具有复杂形状的各种异形元件，一次加工即可获得很高的零件尺寸精度、形状精度和很低的表面粗糙度，能够实现光学微结构的率、高精度、柔性化加工，它已在超精密加工上得到非常广泛的应用，如下图“手机导光板加工”等。

设备集成图

加工效果图