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压电精密定位控制——闭环系统

时间:2018-05-07      阅读:1780

由于压电陶瓷具有几乎无限高的位移分辨率,因此它们非常适用于微米到纳米级别的高精度定位。

但是由于压电陶瓷存在迟滞特性与蠕变特性,使得给压电陶瓷加载相同的电压所产生的位移不同,也就是我们说的迟滞与蠕变特性。

在很多的实际应用中,位移的高分辨率非常重要,但是的定位精度并不那么重要,非常典型的案例比如压电移相器在干涉仪中的应用,通常要求移相器要具有非常高的分辨率,而定位精度并不重要。

另外一个例子就是应用中只需要零点与zui大位移的一个致动过程,压电陶瓷在每次致动到zui大位移之后都回到零点位置,因此迟滞并不会影响所需要的性能。这时开环控制足以满足应用需求。

然而,有些应用则要求非常高的定位精度,这需要通过压电陶瓷与传感监测系统相结合来实现,由于高动态性,压电陶瓷非常适用于带有传感监测装置的闭环系统。

芯明天的闭环压电产品可以选择不同的传感监测系统,可以实现位移的定位精度是满行程的0.02%-0.1%。对于一个满行程10μm的纳米定位台来说,定位精度zui高可达2nm,更高的精度可以选择电容传感器,定位精度zui高可以达到满行程的0.001%

在使用闭环定位系统的时候需要注意,每个传感闭环监测的位移都是被标定的线性位置。 

但是若受到环境因素比如温度的影响,传感监测到的位置与实际要定位的位置之间的偏差量则无法监测到。

芯明天全部压电产品均为自主研发设计,可选择配置高可靠性传感监测系统,配套我们开发设计的带有闭环控制系统的控制器,闭环控制是通过PID控制电路来实现实时调节的,实际监测到的位移可以显示在屏幕上。

在具体应用中首先要确定是否需要闭环系统,以便选择适合的致动产品及控制器。 

芯明天全系列压电纳米定位产品均可选择开环或闭环版本,配套对应的开环或闭环控制器产品。

如果您还不能确定需要开环还是闭环产品以满足您的应用,那就赶快与我们的销售工程师取得吧。

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