蚀性和剧毒性的气体介质。
结构特点 Features
h 单级式减压结构
h 膜片与母体采用硬密封结构，并有二次密封保护
h 上盖带有多重密封保护和排放接口
h 母体接口：1/4” 面密封内螺纹
h 安全压力：1.5 倍使用压力
h 输入压力：500 psi，1500 psi，3000 psi
h 输出压力：0-25 psi，0-50 psi，0-100 psi，
0-150 psi，0-250 psi
h 适用温度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
h 泄漏率：1×10-9 mbar.l/s
h CV 值：0.16
h 重量：1.54 kg (3.42 lbs)
材质 Materials
h 母体：316L (EP)，可选 C22 哈氏合金
h 阀座：PCTFE
h 膜片：C22 哈氏合金
h 阀杆：C22 哈氏合金
适用范围 Typical Applications
h 半导体
h 太阳能
h 真空镀覆设备
h 特气制备
