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日本神港电机SHINKO SEIKI离子规真空计测定球PG-85/SVG-10/SVG-20

产品品牌:日本神港电机SHINKO SEIKI

日本神港电机（SHINKO SEIKI）的离子规真空计（如SVG系列）通过电离原理测量真空环境中离子电流或气体分子浓度，实现对真空度的精确检测，其核心用途在于为高精度真空环境提供实时监测，确保工业工艺的稳定性和产品质量。‌

该类仪器广泛应用于对真空环境要求严格的工业领域，‌ 具体包括：

‌半导体制造‌：用于晶圆生产、等离子体刻蚀等工艺的高精度真空控制，保障器件加工的可靠性。

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具体规格型号如下：

SVG-3

SVG-5

SVG-10

SVG-12

SVG-15

SVG-20

SVG-30

SVG-50

SVG-100

PG-DP2

PG-SX

PG-SY

PG-SSW

PG-SSY

PG-85