样品尺寸

ф1500 mm，400 kg

 样品台

 轴向直线运动特性

线速度0.15m/s, 线加速度15m/S2 

 离子源

★ 37mm 圆形射频源RF37-i，束腰7--15mm （FWHM）

★ 120mm 圆形射频源RF120-m，束腰16-- 36mm （FWHM）可选第二个离子源            

 中和器

射频等离子桥中和器N-RF

 参考去除率

SiO2： 14 mm3/h （RF37-i)96  mm3/h （RF120-m)

 加工后表面精度

< 0.5nm rms （薄膜修整厚度不均匀性，与初始状态有关）

 基础真空度

1x10-6 mbar

 系统尺寸(W x D x H)           

3.6m x 7.7 m x 3.4 m (不含电柜和真空泵）

 软件界面

SECS II / GEM, OPC